半導體摻雜工藝需要檢測哪些氣體

2024.01.03　瀏覽量：112 次

半導體摻雜技術是半導體器件的核心技術之一，摻雜是指將一定數量的雜質摻入到半導體材料的工藝，能夠改變半導體材料的電學特性，優化半導體芯片的性能。摻雜的方式主要有擴散和離子注入，兩種方法在集成電路和分立器件中都會用到，為了保證生產安全，半導體摻雜工藝用氣體檢測儀的使用非常重要，下面來看看半導體摻雜工藝需要檢測哪些氣體？

利用擴散技術實現摻雜的工藝過程中危險氣體主要有硼乙烷、硒化氫、三氟化氯、氫氣、砷化氫等氣體，硼乙烷是一種毒性很強的氣體，輕度中毒表現為呼吸道和眼刺激，嚴重地會導致窒息、死亡等。三氟化氯是一種有毒有腐蝕的氣體，吸入后會引起后喉痙攣、肺炎、肺水腫等，還會與稀有氣體反應。砷化氫的毒性也很強，長期接觸會導致慢性中毒，表現為腹痛、嘔吐等癥狀，嚴重地還會導致神經系統、腎臟等衰竭。氫氣、砷化氫屬于可燃氣體，達到爆炸下限時與空氣混合形成爆炸混合物，遇明火和高熱就會引起燃燒爆炸。

利用離子注入技術實現摻雜的工藝過程中除需要檢測硼乙烷、砷化氫外，還需要檢測磷化氫、三氟化硼等氣體，長期接觸磷化氫會出現惡心、嘔吐、昏迷等癥狀，嚴重地還會直接致死。長期接觸三氟化硼會導致眼睛、呼吸道、皮膚等部位的刺激，嚴重的情況還會導致氣道收縮。

由此可見，摻雜過程中涉及的有害氣體和可燃氣體對人體和環境的的危害都非常大，需要安裝氣體檢測儀對目標氣體進行檢測，這里推薦西安贏潤環保公司生產銷售的ERUN-PG71S6便攜式多參數氣體檢測儀，此款儀器能夠同時檢測1-6種氣體，泵吸式設計，響應速度快，多種報警模式可設置，報警提示明顯。

半導體摻雜工藝用氣體檢測儀技術參數
產品型號：ERUN-PG71S6
檢測氣體：硼乙烷、砷化氫、三氟化氯、氫氣、磷化氫等
檢測精度：≤±2%F.S （更高精度可訂制）
防護等級：IP67
防爆類型：本質安全型ExiaⅡCT4Ga

上述即為半導體摻雜需要檢測哪些氣體的相關介紹，熱擴散和離子注入技術是半導體摻雜工藝的兩種方式，在進行摻雜工藝時，往往會涉及很多種氣體，這些氣體對環境和人體健康都有不同程度的損害，為保護環境和人身安全，定期使用半導體摻雜工藝用氣體檢測儀，確保環境中的氣體濃度處于安全范圍內。